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日本开发出廉价可靠的EUV光源_科技频道_东方资讯

发布日期:2020-05-20 03:19   来源:未知   阅读:

东京工业大学的科学家最近开发了一种极低密度的锡“气泡”,这使得极紫外线的产生变得可靠而且便宜。

东京工业大学的技术团队已经实现了这一目标,他们用聚电解质制成的聚合物电解质“肥皂泡”作为模板,用激光照射,这种聚合物电解质非常稳定,适合大规模生产。

一旦球体被辐射,研究小组就能够证实发出了与金属锡相同的13.5nm的极紫外(EUV)射线。研究小组认为,他们的新技术可以为先进半导体等电子产品的各种应用铺平道路,作为一种可靠的EUV光源产生手段。

图中显示了纳米化的锡气泡是如何产生EUV光

高强度激光器过去曾被用来产生EUV光,但是,事实证明,对于这些激光器而言,要保持对可产生EUV范围内光的目标密度的控制是有挑战性的。

东京工业大学的团队与都柏林大学学院的同事合作,致力于寻找可用于产生EUV光的激光靶,同时保持高效、可扩展和低成本。他们的锡涂层微胶囊 "气泡 "技术是一种可高度控制的低密度结构。它由聚合物电解质组成,然后涂上锡纳米颗粒。适于制造半导体芯片

为了对该气泡进行测试,研究小组用钕-YAG激光器对其进行照射。结果是产生了13.5纳米范围内的EUV光,研究小组还发现,该结构与制造半导体的传统EUV光源兼容。

"克服了液态锡动力学的限制,在产生EUV光方面非常有利。"Keiji Nagai教授说。"定义良好的低密度锡靶可以支持多种材料,包括其形状、孔隙大小和密度。"

EETOP编译自allaboutcircuits

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